クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド

2025.11.24

半導体分野におけるＭＥＭＳに関する技術

半導体分野におけるMEMS技術とは、半導体製造技術と微細加工技術を用いて微小な可動部を形成し、これを利用して各種のセンサやアクチュエータを実現する技術群を指す。具体的には、加速度計やジャイロスコープといった慣性計測デバイスで機械的な変位や振動を感知し、静電容…

カテゴリー: 半導体

タグ: ＭＥＭＳ