2025.11.25
半導体分野におけるダイヤモンドに関する技術
半導体分野におけるダイヤモンドに関する技術は、単結晶および多結晶体のダイヤモンドを用いた熱伝導性向上や放熱用途に重点を置く。特にダイヤモンドの高い熱伝導率を活かし、電力モジュールのチップ封止やゲート、ソース、ドレインといった素子周辺の絶縁膜との接合部での放熱…
半導体分野におけるダイヤモンドに関する技術は、単結晶および多結晶体のダイヤモンドを用いた熱伝導性向上や放熱用途に重点を置く。特にダイヤモンドの高い熱伝導率を活かし、電力モジュールのチップ封止やゲート、ソース、ドレインといった素子周辺の絶縁膜との接合部での放熱…