フォトマスク - Radar Tech Intelligence（RTI）

2025.11.24

半導体分野におけるフォトマスクに関する技術

半導体分野におけるフォトマスクに関する技術は、主に光学的な図形の正確な描画と転写を実現する技術群で構成される。フォトマスクブランクスの製造から始まり、クロムなどの金属膜を用いた遮光層の形成により、レジストパターンを高精度で作成する。位相シフト技術やｏｐｃ（光…

カテゴリー: 半導体

タグ: フォトマスク