アライメントマーク - Radar Tech Intelligence（RTI）

2025.11.24

半導体分野におけるアライメントマークに関する技術

半導体分野におけるアライメントマークに関する技術は、ウェハ上のパターン精度を高めるために必須の技術である。この技術はリソグラフィ工程での露光装置を用いた撮像と画像認識を中心として展開される。露光装置内のマスクテーブルおよびチャックテーブル上でのウェハの正確な…

カテゴリー: 半導体

タグ: アライメントマーク