2025.11.24
半導体分野における温度センサーに関する技術
半導体分野における温度センサーに関する技術は、主にトランジスタやダイオードの特性を利用して温度の変化を検出する技術群で構成される。これらの半導体素子は温度に応じてしきい値や発振周波数が変化する性質を持ち、その変化を計測することで正確な温度検知が可能になる。 …
主要プレイヤー: 株式会社ニコン
2025.11.24
半導体分野における電子顕微鏡に関する技術
半導体分野における電子顕微鏡技術は、主にSEM（走査型電子顕微鏡）とTEM（透過型電子顕微鏡）を活用し、ウェハ上の欠陥検査や微細構造の観察を行う技術群である。SEMは表面の画像撮像に優れており、ステージ上でウェハの特定領域を高解像度で検査することが可能である…
2025.11.24
半導体分野におけるアライメントマークに関する技術
半導体分野におけるアライメントマークに関する技術は、ウェハ上のパターン精度を高めるために必須の技術である。この技術はリソグラフィ工程での露光装置を用いた撮像と画像認識を中心として展開される。露光装置内のマスクテーブルおよびチャックテーブル上でのウェハの正確な…