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主要プレイヤー: 東京エレクトロン株式会社

2025.12.13

金属材料分野における絶縁性に関する技術

金属材料分野における絶縁性に関する技術は、金属の導電性を制御しながら電気的絶縁を実現するための技術群を指す。具体的には、軟磁性材料である圧粉磁心や電磁鋼板の表面に被膜を形成し、鉄損を抑制しつつ透磁率を高める処理が含まれる。こうした被膜の形成はプラズマ処理やめ…

2025.12.08

金属材料分野における導電性に関する技術

金属材料分野における導電性に関する技術は、銅粉や銅合金を用いた導電体の製造から、微粒子のペーストを印刷や塗布して形成する透明導電膜の作製まで多岐にわたる。例えば、焼成や焼きなましを通じて導電率の向上を図り、冷間圧延や熱間圧延により材料の結晶構造を制御して接触…

2025.12.02

半導体分野におけるアニーリングに関する技術

半導体分野におけるアニーリング技術は、イオン注入により導入された不純物の活性化や欠陥の修復を目的とし、トランジスタなどの半導体デバイスの性能向上に寄与する。レーザアニールは、レーザ光を走査しながら照射することで、局所的かつ高精度に熱処理を行う手法であり、単結…

2025.11.26

半導体分野におけるアンテナユニットに関する技術

半導体分野におけるアンテナユニットに関する技術は、主に半導体チップ上に形成される導波管やスロットといった導体層から構成され、これらが高周波帯の電波を送信および受信する役割を担う。半導体製造工程では絶縁層や絶縁膜を用いてチャネルやトランジスタの構造を形成し、そ…

2025.11.25

熱マネジメントにおける材料塗布に関する技術

熱マネジメントにおける材料塗布に関する技術は、電子部品やヒートシンクなどの熱伝導性向上や絶縁性確保を目的としている。 具体的には、はんだやペーストを用いた電極や配線の接合技術、樹脂や塗料の塗布による被覆層の形成技術が含まれる。また、紫外線硬化や硬化プロ…

2025.11.24

半導体分野における温度センサーに関する技術

半導体分野における温度センサーに関する技術は、主にトランジスタやダイオードの特性を利用して温度の変化を検出する技術群で構成される。これらの半導体素子は温度に応じてしきい値や発振周波数が変化する性質を持ち、その変化を計測することで正確な温度検知が可能になる。 …

2025.11.24

半導体分野におけるインピーダンスに関する技術

半導体分野におけるインピーダンスに関する技術は、導体や線路、ビア、パッドなどの構造要素における特性インピーダンスの制御や評価を中心とする。これには高周波やGHz帯域における伝送特性の解析が含まれ、高周波電力や交流信号の伝導において反射や損失を抑えることで回路…

2025.11.24

半導体分野におけるパーティクル対応に関する技術

半導体分野におけるパーティクル対応技術は、ウェハやチャンバ内に付着する微粒子を除去し、製品の品質向上と歩留まり改善を目的とする技術群で構成される。具体的には、プラズマ処理による表面の洗浄や有機物除去、洗浄液や純水を用いた薬液洗浄、リンスおよび乾燥工程が含まれ…

2025.11.24

半導体分野における回転テーブルに関する技術

半導体分野における回転テーブルは、ウェハの塗布や洗浄、研磨などのプロセスにおいて重要な役割を果たす装置である。回転テーブルはスピンチャックやチャックテーブルを用いてウェハを固定し、高速回転させることでレジストの均一な塗布やスラリーを使ったcmp(化学機械研磨…

2025.11.24

半導体分野における原子層堆積法(ALD)に関する技術

半導体分野における原子層堆積法(ALD)は、ウェハ上に極めて薄い膜材料を均一かつ高精度に成長させる技術である。ALDは前駆体となる原料ガスをパルス状にチャンバ内に導入し、吸着と化学反応を繰り返すことで酸化膜や層間絶縁膜、保護膜などの薄膜を形成する。 こ…