2025.11.24
半導体分野における回転テーブルに関する技術
半導体分野における回転テーブルは、ウェハの塗布や洗浄、研磨などのプロセスにおいて重要な役割を果たす装置である。回転テーブルはスピンチャックやチャックテーブルを用いてウェハを固定し、高速回転させることでレジストの均一な塗布やスラリーを使ったｃｍｐ（化学機械研磨…
半導体分野における回転テーブルは、ウェハの塗布や洗浄、研磨などのプロセスにおいて重要な役割を果たす装置である。回転テーブルはスピンチャックやチャックテーブルを用いてウェハを固定し、高速回転させることでレジストの均一な塗布やスラリーを使ったｃｍｐ（化学機械研磨…