2025.11.24
半導体分野における回転テーブルに関する技術
半導体分野における回転テーブルは、ウェハの塗布や洗浄、研磨などのプロセスにおいて重要な役割を果たす装置である。回転テーブルはスピンチャックやチャックテーブルを用いてウェハを固定し、高速回転させることでレジストの均一な塗布やスラリーを使ったｃｍｐ（化学機械研磨…
主要プレイヤー: 大日本スクリーン製造株式会社
2025.11.24
半導体分野におけるパーティクル対応に関する技術
半導体分野におけるパーティクル対応技術は、ウェハやチャンバ内に付着する微粒子を除去し、製品の品質向上と歩留まり改善を目的とする技術群で構成される。具体的には、プラズマ処理による表面の洗浄や有機物除去、洗浄液や純水を用いた薬液洗浄、リンスおよび乾燥工程が含まれ…
2025.11.20
半導体分野におけるフラッシュメモリに関する技術
半導体分野におけるフラッシュメモリに関する技術は、主にメモリセルの構造設計と製造プロセスに関連する技術群で構成される。メモリセルはフローティングゲートやコントロールゲートを含み、これらは絶縁膜や酸化膜、誘電体膜などの層間絶縁膜で囲まれている。 トンネル…