2025.11.24
半導体分野におけるパーティクル対応に関する技術
半導体分野におけるパーティクル対応技術は、ウェハやチャンバ内に付着する微粒子を除去し、製品の品質向上と歩留まり改善を目的とする技術群で構成される。具体的には、プラズマ処理による表面の洗浄や有機物除去、洗浄液や純水を用いた薬液洗浄、リンスおよび乾燥工程が含まれ…
主要プレイヤー: 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
2025.11.24
半導体分野における回転テーブルに関する技術
半導体分野における回転テーブルは、ウェハの塗布や洗浄、研磨などのプロセスにおいて重要な役割を果たす装置である。回転テーブルはスピンチャックやチャックテーブルを用いてウェハを固定し、高速回転させることでレジストの均一な塗布やスラリーを使ったｃｍｐ（化学機械研磨…
2025.11.20
半導体分野におけるフラッシュメモリに関する技術
半導体分野におけるフラッシュメモリに関する技術は、主にメモリセルの構造設計と製造プロセスに関連する技術群で構成される。メモリセルはフローティングゲートやコントロールゲートを含み、これらは絶縁膜や酸化膜、誘電体膜などの層間絶縁膜で囲まれている。 トンネル…
2025.11.20
半導体分野における機械学習の活用に関する技術
半導体分野における機械学習の活用技術は、製造工程の各段階で収集されるセンサデータや画像データを基に学習モデルを訓練し、欠陥の検査や分類、予測を高精度に実現する技術群である。ウェハ上のトランジスタやメモリセル、画素などのパターン認識において、検査装置のカメラや…