2025.11.24
半導体分野における熱膨張に関する技術
半導体分野における熱膨張に関する技術は、主に異なる材料間の熱膨張差によって生じる応力の抑制と放熱性能の向上を目的とする。具体的には、プリント配線板や積層板に用いるエポキシ樹脂や熱硬化性樹脂、ポリイミドフィルムなどの基板材料の選定および硬化プロセスの最適化が含…
主要プレイヤー: 東京エレクトロン株式会社
2025.11.24
半導体分野における静電チャックに関する技術
半導体分野における静電チャックに関する技術は、ウェハの安定した吸着および位置決めを目的とした技術群である。静電チャックはベースプレートやセラミックを基材として構成され、体積抵抗率の制御が重要である。給電方式には直流や高周波電力が用いられ、それによって電荷を発…
2025.11.24
半導体分野におけるキャリアガスに関する技術
半導体分野におけるキャリアガスに関する技術は、主にエピタキシャル成長や化学気相成長（MOCVD）などの薄膜形成プロセスで用いられる。キャリアガスは原料ガスをウェハ上の反応器内へ搬送する際の媒体として使用され、流路やバルブ、流量調節弁によってその流量や圧力、ガ…
2025.11.22
ロボット分野における基板ウェハに関する技術
ロボット分野における基板ウェハに関する技術は、基板搬送を中心に構成されている。搬送時にはエンドエフェクタに装着されたハンドや吸着パッド、真空ノズルなどによって基板を正確に把持し、エアシリンダやモーター、駆動軸を用いた駆動回路によって昇降や旋回、回動などの動作…
カテゴリー:
ロボット
2025.11.22
水素エネルギー分野における電極に関する技術
水素エネルギー分野における電極に関する技術は、燃料電池や電解槽などのセル内で水素の発電や電気分解を効率的に行うための基盤技術である。電極はアノード（陽極）やカソード（陰極）として機能し、活物質や触媒層を備えた膜電極構造を形成することで、水素の解離や酸素ガスの…
2025.11.20
半導体分野における機械学習の活用に関する技術
半導体分野における機械学習の活用技術は、製造工程の各段階で収集されるセンサデータや画像データを基に学習モデルを訓練し、欠陥の検査や分類、予測を高精度に実現する技術群である。ウェハ上のトランジスタやメモリセル、画素などのパターン認識において、検査装置のカメラや…