2025.11.22
ロボット分野における基板ウェハに関する技術
ロボット分野における基板ウェハに関する技術は、基板搬送を中心に構成されている。搬送時にはエンドエフェクタに装着されたハンドや吸着パッド、真空ノズルなどによって基板を正確に把持し、エアシリンダやモーター、駆動軸を用いた駆動回路によって昇降や旋回、回動などの動作…
カテゴリー:
ロボット