ロボット分野における基板ウェハに関する技術

ロボット分野における基板ウェハに関する技術は、基板搬送を中心に構成されている。搬送時にはエンドエフェクタに装着されたハンドや吸着パッド、真空ノズルなどによって基板を正確に把持し、エアシリンダやモーター、駆動軸を用いた駆動回路によって昇降や旋回、回動などの動作を制御する。基板の反りや変形を検出するために圧電素子や圧電体を活用したセンサが搭載され、電圧変化を回路で読み取ることで適切な制御を実現する。また、配線やコネクタを通じて制御回路や電源と連携し、交流や直流の電力供給が行われる。搬送ラインのカセットやチャンバ、カバーなどのセクションでは、シャフトやプーリ、プーリー、ベルトなどの伝達機構を用いて減速や伸長、収縮を調整し、外力の影響を制御する。さらに電子部品や撮像装置での検出および監視を通じて、基板の品質や位置の精密な管理を行う技術群である。