2025.11.24
半導体分野における静電チャックに関する技術
半導体分野における静電チャックに関する技術は、ウェハの安定した吸着および位置決めを目的とした技術群である。静電チャックはベースプレートやセラミックを基材として構成され、体積抵抗率の制御が重要である。給電方式には直流や高周波電力が用いられ、それによって電荷を発…
半導体分野における静電チャックに関する技術は、ウェハの安定した吸着および位置決めを目的とした技術群である。静電チャックはベースプレートやセラミックを基材として構成され、体積抵抗率の制御が重要である。給電方式には直流や高周波電力が用いられ、それによって電荷を発…