電子顕微鏡 - Radar Tech Intelligence（RTI）

2025.11.24

半導体分野における電子顕微鏡に関する技術

半導体分野における電子顕微鏡技術は、主にSEM（走査型電子顕微鏡）とTEM（透過型電子顕微鏡）を活用し、ウェハ上の欠陥検査や微細構造の観察を行う技術群である。SEMは表面の画像撮像に優れており、ステージ上でウェハの特定領域を高解像度で検査することが可能である…

カテゴリー: 半導体

タグ: 電子顕微鏡