半導体分野におけるゼオライト技術は、主にその多孔質骨格構造を活かした吸着や分離、触媒作用を中心に展開される。ゼオライトの微細な細孔径やメソ細孔構造が、特定の分子やイオンの通過や封止、転化を指向的に制御し、材料の機能性向上に寄与する。水熱合成やテンプレート法によって製造される複合体や単層構造は、透明フィルムへの付着性や硬化、エポキシ樹脂との接着などを改善し、封止材としての役割を果たす。さらに、金属触媒ドープを施したゼオライトは、化学気相成長法によるナノチューブ生成や燃料電池内の燃料改質・二酸化炭素回収といった応用が可能であり、ｃｈａやｓｓｚ、ｓｄａ等の種結晶構造を利用して特定の触媒活性を発現させる。また、透過性や分離係数が重要視される中、ｂｅｔによる比表面積評価やｘｒｄ・ラマン分析での回折ピーク解析により物性制御がなされている。これらにより半導体材料の製造工程や機能部品の性能向上を支える技術群が形成される。
