ロボット分野における省スペース技術は、限られた設置環境で高い機能性を維持するための設計や機構に関する技術群である。基板搬送や搬送機構においては、水平や昇降、旋回、回動などの回転軸や自由度を適切に制御しながら、コンパクトな配置を実現する。パラレルリンクやリンクハブを活用した関節構造は、省スペースを実現しつつ高い把持力や位置決め精度を発揮する。また、エンドエフェクタではロボットハンドやフィンガー、吸着パッド、真空吸引ノズルを組み合わせ、開閉動作を電動モーターにより効率的に制御している。駆動部では遊星歯車や傘歯車を用いた減速機構やプーリーとワイヤーによる動力伝達により、出力軸の動作をコンパクトにまとめる。電気信号と電力の配線や配管にはロータリージョイントを使い、負荷やモーメントを分散させる工夫が施されている。さらに、圧電素子や圧電体を利用した検出システムにより振動や位置を正確に捉え、固定や固着を防止することで機構の小型化と安定稼働を両立している。これらの技術群は、効率的なスペース活用と高精度な動作制御を両立するうえで重要な役割を果たす。
